A、YP B、YS C、XP D、EB
A.Pa B.N C.Torr D.mbar
A、電子槍光斑的位置 B、電子槍光斑的形狀、大小 C、真空度不穩(wěn)定 D、修正板的形狀和上升高度
把晶振冷卻水管進(jìn)口、出口從連接處斷開,并把閥門關(guān)上,用壓縮空氣氣槍從進(jìn)口處吹入壓縮空氣,看出口處是否有異物流出。