微電子學章節(jié)練習(2020.01.28)

來源：考試資料網(wǎng)

1.填空題所謂（），是指幅度隨時間連續(xù)變化的信號。

2.名詞解釋平均投影射程RP

參考答案：平均投影射程就是射程的平均值，也就是離子注入深度的平均值

3.填空題當對PN結外加反向電壓時，其勢壘區(qū)寬度會（），勢壘區(qū)的勢壘高度會（）。

參考答案：增大；提高

4.問答題簡述淀積膜的過程的三種不同階段

（1）晶核形成，成束的穩(wěn)定小晶核形成
（2）聚集成束，也稱為島生長
（3）形成連續(xù)的膜

5.問答題在SiO₂系統(tǒng)中存在哪幾種電荷？他們對器件性能有些什么影響？工藝上如何降低他們的密度？

6.問答題試述器件模擬和工藝模擬的基本概念。

參考答案：器件模擬概念：給定器件結構和摻雜分布，采用數(shù)值方法直接求解器件的基本方程，得到直流（DC）、交流（AC）、瞬態(tài)特性和某些...

7.名詞解釋PSM移相掩膜

參考答案：相移掩膜上的電介質層在光刻版上開口部分以間隔的方式形成相移圖形，通過沒有相移涂敷開口部分的光線，會與通過有相移涂敷開口的...

8.問答題簡述微電子工藝的特點

參考答案：①高技術含量：設備先進、技術先進
②高精度：光刻圖形的最小線條尺寸在亞微米量級，制備的介質薄膜厚度也在納米量級...

9.填空題為了降低臺階高度對金屬互連線的影響，在沉積金屬層前必須對圓片平坦化。平坦化的方法主要有（）和（）。沉積的回流介質主要有：（）

參考答案：回流；化學機械拋光；硼硅玻璃（BSG）、磷硅玻璃（PSG）和硼磷硅玻璃（BPSG）

10.問答題什么是駐波效應？如何減小駐波效應

參考答案：駐波效應：當曝光的光纖從光刻膠與襯底的界面反射時，會與入射的曝光光線產生干涉，會使曝光過度和不足的區(qū)域形成條紋狀結構。<...