A.增壓機(jī)回流閥 B.膨脹機(jī)噴嘴 C.快速切斷閥
A.氖氦吹除閥 B.液氮調(diào)節(jié)閥 C.液氮回流閥
A.0.1MPa/min B.0.5MPa/min C.1MPa/min