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單項選擇題
在顯影過程中,對于正性抗蝕劑,顯影液的使用要求是()。
A.顯影液可以使用丁酮
B.顯影液可以使用甲苯
C.顯影液可以使用丙酮
D.顯液可以使用甲基異丁基酮和異丙醇的1:1混合液
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單項選擇題
當需要刻蝕的圖形尺寸大于3um時,一般使用()。
A.濕法刻蝕
B.濺射刻蝕
C.等離子體刻蝕
D.反應離子刻蝕
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單項選擇題
兼具有各向異性刻蝕的優(yōu)點,又有可接受的選擇比的刻蝕方法是()。
A.濕法刻蝕
B.濺射刻蝕
C.等離子體刻蝕
D.反應離子刻蝕
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