填空題

（）是所有特種加工方法中最精密、最微細的加工方法，是當代毫微米加工（納米加工）技術(shù)的基礎(chǔ)。

答案：離子束加工

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激光的特性有強度高、單色性好、（）、方向性好。

答案：相干性好

電極絲的張力，對運行時電極絲的振幅和加工穩(wěn)定性有很大影響，故而在上電極絲時應(yīng)采取（）絲的措施。

答案：張緊電極