<bdo id="y1vhm"></bdo>

<mark id="y1vhm"></mark>

問答題

【簡答題】質(zhì)量輸運限制CVD和反應速度限制CVD工藝的區(qū)別？

答案： 1、質(zhì)量傳輸限制淀積速率
淀積速率受反應物傳輸速度限制，即不能提供足夠的反應物到襯底表面，速率對溫度不敏感（如...

你可能感興趣的試題

【簡答題】名詞解釋：CVD、LPCVD、PECVD、VPE、BPSG。（將這些名詞翻譯成中文并做出解釋）。

答案：

【簡答題】例舉高k介質(zhì)和低k介質(zhì)在集成電路工藝中的作用。

答案：