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68度腐蝕參考腐蝕速率0.013μm/s;不飽和50度參考腐蝕速率0.003μm/s,腐蝕速率有波動,設定的腐蝕時間可適當大于計算出的腐蝕時間。
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腐蝕籃的上邊緣必須高于腐蝕液面2到3cm,預防少片。
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將熱純水放入黑色周轉盒中,并將盛有晶片的黑色清洗筐放入流動的熱純水中晃動清洗更換2次熱水。
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