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反應氣體或生成物通過邊界層,是以擴散的方式來進行的,而使氣體分子進行擴散的驅動力,則是來自于氣體分子局部的濃度梯度。
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化學合成反應沉積是由兩種或兩種以上的反應原料氣在沉積反應器中相互作用合成得到所需要的無機薄膜或其它材料形式的方法。
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