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用干涉顯微鏡測量球形表面工件時(shí),干涉條紋為圓環(huán)形。
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用光切顯微鏡測量Rz值評(píng)定工件表面粗糙度時(shí),應(yīng)使加工紋路與狹縫相垂直。
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干涉顯微鏡適于測量表面粗糙度值較大的零件。
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