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薄膜沉積的機構,依發(fā)生的順序,可以分為這幾個步驟。其中不包括()。
A.形成晶核
B.晶粒自旋
C.晶粒凝結
D.縫道填補
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單項選擇題
硅晶片上之所以可以產生薄膜,出始于布滿在晶片表面的許多氣體分子或其它粒子,它們主要是通過()到達晶片表面的。
A.粒子的擴散
B.化學反應
C.從氣體源通過強迫性的對流傳送
D.被表面吸附
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單項選擇題
決定吸附原子彼此間能否形成一個穩(wěn)定的核團,以便于進行凝結的主要因素主宰于所形成的核團是否()而定。
A.動能最低
B.穩(wěn)定
C.運動
D.靜止
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