問答題

【論述題】離子在靶內(nèi)運動時，損失能量可分核阻滯和電子阻滯，解釋什么是核阻滯、電子阻滯？兩種阻滯本領(lǐng)與注入離子能量具有何關(guān)系？

答案： ①碰撞注入離子與靶內(nèi)原子核之間的相互碰撞。因注入離子與靶原子的質(zhì)量一般為同一數(shù)量級，每次碰撞之后，注入離子都可能發(fā)生大角...
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【論述題】

下圖為一個典型的離子注入系統(tǒng)。（1）給出1~6數(shù)字標識部分的名稱，簡述其作用。（2）闡述部件2的工作原理。
答案： 1.離子源2.分析磁塊3.加速器4.中性束閘5.x&y掃描板6.法拉第杯
1.離子源作用：產(chǎn)生注入用的離子原理...
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【論述題】

Si-SiO2界面電荷有哪幾種？簡述其來源及處理辦法。
答案： 可動離子電荷Qm來源：主要來源于Na+等網(wǎng)絡改變者。解決辦法：為了降低Na+的玷污，可以在工藝過程...
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