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問答題
【論述題】集成電路制造中有哪幾種常見的擴散工藝？各有什么優(yōu)缺點？
答案：
擴散工藝分類：按原始雜質源在室溫下的相態(tài)分類，可分為固態(tài)源擴散，液態(tài)源擴散和氣態(tài)源擴散。固態(tài)源擴散（1）.開管擴散...
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問答題
【論述題】分別簡述RVD和GILD的原理，它們的優(yōu)缺點及應用方向。
答案：
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